真空熱處理具有如下優點:

1、高效率，低能耗，無污染、勞動強度低，產品質量高。

2、工件在真空加熱中無氧化、無脫碳、可脫脂、可除氣(特別是模具內部的有害氣體氫等)、表面潔凈光亮，表面性能亦得到明顯改善，可提高耐磨性，疲勞強度等。

3、真空加熱中升溫速度可控，模具截面溫差小，由熱應力引起的變形小。冷卻較均勻，工件不會出現軟點，,淬火硬度均勻。