滲氮（又稱為氮化）是向鋼的表面滲入氮原子的化學熱處理工藝。滲氮的目的是提高零件表面的硬度、耐磨性、耐蝕性及疲勞強度。

滲氮的方法很多，目前應用最多的滲氮方法為氣體滲氮和離子滲氮。

(1)氣體滲氮工件在氣體介質中進行的滲氮稱為氣體滲氮。它是將工件放入密閉的爐內，加熱到500~600℃，通入氨氣(NH3)，氨氣分解出活性氮原子被工件表面吸收，與鋼中的合金元素鋁、鉻、鉬形成氮化物，并向心部擴散，形成一定厚度的滲氮層，滲氮層一般深度為0.1~0.8mm。

氣體滲氮適用于含有鋁、鉻、鉬等合金元素的鋼，38CrMoAl是最常用的滲氮用鋼，其次是35CrMo、18CrNiW等。滲氮工件的工藝路線為：鍛造→退火→機械粗加工→調質→機械精加工→去應力退火→粗磨→滲氮→精磨或研磨

滲氮的特點：

1)滲氮層具有很高的硬度和耐磨性。鋼件滲氮后不用淬火就可得到高硬度，而且具有較高的熱硬性。如38CrMoAl鋼滲氮層硬度高達1000HV以上（相當于69~72HRC），而且這些性能在600~650℃時仍可保持。

2)滲氮溫度低（一般約為570℃），工件變形小。

3)滲氮零件具有很好的耐蝕性，可防止水、水蒸氣、堿性溶液的腐蝕。

滲氮雖然具有上述特點，但它的生產周期長，滲氮層薄而脆，不宜承受集中的重載荷，這就使滲氮的應用受到一定限制。在生產中滲氮主要用來處理重要和復雜的精密零件，如精密絲桿、鏜桿、排氣閥、精密機床的主軸等。

(2)離子滲氮在低于一個大氣壓的滲氮氣氛中，利用工件（為陰極）和陽極之間產生的輝光放電進行滲氮的工藝稱為離子滲氮。

離子滲氮的原理是將需要滲氮的工件作陰極，以爐壁接陽極，在真空室內通入氨氣，并在陰陽極之間通以高壓直流電。在高壓電場作用下，氨氣被電離，形成輝光放電。被電離的氮離子以很大的速度轟擊工件表面，使工件表面溫度升高（一般為450~650℃），并使氮離子在陰極上奪取電子后還原成氮原子而滲入工件表面，然后經過擴散形成滲氮層。