金屬材料常見滲氮缺陷及其原因主要有以下幾方面：

(1)硬度偏低。生產實踐中，工件滲氮后其表面硬度有時達不到工藝規定的要求，輕者可以返工，重者則造成報廢。造成硬度偏低的原因通常有：

1)設備方面。如系統漏氣造成氧化。

2)材料方面。如材料選擇不合理。

3)前期熱處理。如基體硬度太低，表面脫碳嚴重等。

4)工件預處理不徹底。如進爐前的清潔方式不當及清潔度不夠。

5)工藝方面。如滲氮溫度過高或過低，時間短或氮濃度不足等。

(2)硬度和滲層不均勻。主要原因有：裝爐方式不合理，氣壓調節不當，滲氮處理期間溫度不均勻，爐內氣流不合理。

(3)滲氮后零件變形過大。雖然變形是難以避免的，但是對易變形件，采取以下措施有利于減小變形：

1)滲氮前應進行穩定化處理。