目前工業生產中使用的氮化方法有三種，即液體氮化、氣體氮化和離子氮化，三種氮化方法之間具有互補性。

隨著人們環保意識的加強，一系列環保法律法規相繼出臺，液體氮化和氣體氮化因污染問題已不為都市工業所接受，相繼從都市工業中退出。如上海市除真空熱處理、感應熱處理和離子滲氮工藝可繼續留在市內從事生產外，其他熱處理工藝生產都已搬出市區，另求生存之道。

除上述突出弊端外，液體氮化因受設備容量限制，對大型零件的氮化也顯得無能為力，而且零件經液體氮化后，表面疏松較嚴重，更限制了其應用范圍。但客觀地將，液體氮化對某些材質的小工件氮化仍具有其獨到之處。

氣體氮化因工藝周期長（如氮化層深度要求為0.6mm時，其保溫時間可長達90小時）、氨氣消耗量大、能源消耗多、生產成本高，廢氣、廢水難以處理，其應用范圍也正在逐步縮小。與上述兩種氮化方法相比，離子氮化法具有以下一些優點：

①由于離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無需防止公害的特別設備。

②由于離子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時間（離子滲氮的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3—1/5）。

③由于離子氮化法利用輝光放電直接進行加熱，也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40—70％）。

④由于離子氮化是在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面也不損害被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進行處理，被處理工件的變形量極小，處理后無需再行加工，極適合于成品的處理。

⑤通過調節N、H和其他組份等氣體的比例，可自由地調節化合物層的相組成，從而獲得預期的機械性能。

⑥離子氮化從380℃起即可進行氮化處理，此外，對鈦等特殊材料也可在850℃的高溫下進行氮化處理，因而適應范圍十分廣泛。

⑦由于離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可大大降低處理成本。