內氧化是指滲碳熱處理鋼在滲碳過程中雖然鐵元素未滿足氧化條件，但其中的合金元素如Cr、Mn、Si、Ti滿足氧化條件形成合金氧化物，從而使滲碳鋼表層出現須狀或點狀的脆性氧化物。

滲碳熱處理過程中產生的氧化物，降低了工件的抗疲勞性能。在滲碳熱處理加工過程中，無論是氮基氣氛還是滴注式氣氛，微量氧的存在仍是不可避免的。滲碳爐中氣體與工件材料存在氣固相平衡，爐內的微量氧可以滲入工件產生內氧化。解決方法：

一、 調節滲碳熱處理工藝

目前在丁業上使用的所有氣體滲碳的氣氛巾都含有氧化物，例如COz、CO、H20等，從熱力學上考慮，介質巾氧化物或氧勢是鋼在熱處理中發生內氧化的外因。為了減少內氧化，首先必須存允許情況下盡可能降低氣氛中氧化物含量或氧勢，也就是提高碳勢進行滲碳處理。

二、 選用合適的鋼種

鋼中盡量避免氧化性合金元素，例如Cr、Mn、Si、Ti等，但是此種方法實現較為困難。

三、 進行無氧熱處理

例如在真空下使用不含氧的碳氮化合物如乙炔或甲烷中滲碳；或者在氨裂解氣或氮中添加甲烷或其他無氧的碳化物的氣氛中滲碳，但是由于投資大或和滲碳速度低或和爐內沉積大量碳黑和碳勢不能控制等問題，而不能在工業上普遍應用。

滲碳熱處理作為一種非常普遍的熱處理加工方式，有很多的優點，但是在解決一些缺陷時，一定要結合實際，全面考慮問題，達到完美解決問題的目的。