碳氮共滲層的深度過深，可以通過回火工藝的調整，提高回火溫度，來降低整個碳氮共滲層的硬度，避免由于滲層過深引起零件脆性加大的潛在失效。或者通過重新淬火，降低淬火溫度，使滲層內淬火后得到較低的硬度。

碳氮共滲淬火后硬度低，在產品允許的變形范圍內再進行返工處理，可以通過提高淬火溫度、加深滲層、加快冷卻介質的攪拌速率等措施，提高零件的淬火硬度；若由于零件表面殘余奧氏體過多造成的零件表面硬度低，可以進行深冷處理，減少零件表面的殘余奧氏體，來增加零件的表面硬度。