真空滲碳是在真空爐中進行的高溫氣體滲碳工藝。與普通氣體滲碳相比，真空滲碳具有以下特點：

1)由于滲碳溫度較高( 980~1100℃)，真空對工件表面有凈化作用，可顯著縮短滲碳時間，僅為普通氣體滲碳的一半左右。

2)在真空狀態下滲碳，工件表面不脫碳，不發生晶界氧化，有利于提高工件的疲勞強度。

3)可將滲劑直接通入真空爐內，省去氣體制備設備。

4)對于有狹縫、深孔、不通孔的工件，以及不銹鋼等采用氣體滲碳效果不好的鋼種，用真空滲碳均可獲得良好的滲碳層。

5)真空滲碳耗氣量小，僅為普通滲碳的幾分之一或十幾分之一。

6)真空滲碳的缺點是易產生炭黑。

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