在分析真空熱處理工件增碳現象時，有兩種誤解：第一，認為是工件在淬火油中增碳；第二，認為是加熱熱室的石墨件造成增碳。其實，很多情況下不是這兩種原因，而是加熱熱室的清潔度不高，有大量淬火油在工件進出爐、料筐污染、送料小車進出帶入熱室，殘留在熱室冷壁上，加熱時形成揮發性還原氣氛，對工件增碳。

除了在1050℃高溫以上的溫度直接入油外，1050℃以下的加熱工件淬火時，稍微預冷入油不會形成明顯的增碳現象。

對加熱室的石墨件等對工件的增碳情況，也不能排除，但是完全沒有殘留淬火的氣氛嚴重。

真空加熱淬火的增碳現象更為嚴重的是來自淬火油污染爐膛的原因，并不是人們所說的油中淬火或石墨件的原因。