真空熱處理爐有如下特點：

(1)嚴格的真空密封。金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因此，獲得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質量非常重要。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就是要有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結構設計中必須遵循一個基本原則，就是爐體必須采用氣密焊接，同時在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動密封結構，以盡量減少真空泄漏的可能性。安裝在真空爐體上的部件、附件，例如水冷電極、熱電偶導出裝置等也都必須設計密封結構。

(2)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用。真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸氣壓低，輻射效果好，熱導率小等要求，對抗氧化性能要求高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等加熱與隔熱材料。這些材料在大氣狀態下極易氧化，因此，常規熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。

(3)水冷裝置。真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。

(4)采用低電壓大電流。在真空容器內，當真空度在1.33×10-4~1.33×10-5MPa的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐電熱元件的工作電壓，一般都不超過80～100V。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施，如盡量避免有尖銳的部件，電極間的間距不能太窄小，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。

(5)自動化程度高。真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作都在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在時間15 s內完成。在這樣短的時間內完成許多動作，是很容易造成操作人員緊張而造成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時地按程序完成各種動作。