量具鋼的熱處理方法與刃具鋼相似，進行球化退火，淬火+低溫退火。為了獲得較高的硬度和耐磨性，回火溫度可低些。

量具在熱處理時重要的是要保證尺寸的穩定性。出現尺寸不穩定的原因，主要是由于殘留奧氏體轉變為回火馬氏體時所引起的尺寸膨脹，馬氏體在室溫下析出碳化物引起尺寸收縮，淬火及磨削所產生的殘余應力也可導致尺寸的變化。雖然這些尺寸變化微小(2～3μm)，但對于高精度量具來說是不允許的。

為了提高量具尺寸的穩定性，對精密量具在淬火后應立即進行冷處理，然后在150～160℃下低溫回火；低溫回火后還應進行一次人工時效(110～150℃，24～36h)，盡量使淬火組織轉變為較穩定的回火馬氏體并消除淬火應力。量具精磨后要在120℃下人工時效2～3h，以消除磨削應力。