德國Degussa公司最早發明了鹽浴軟氮化技術（Melenite工藝），美國在此技術上增加了氧化工藝，使處理的零件不僅耐磨，而且使其耐蝕性有大幅度提高。 Degussa公司將該工藝完善，發展成“鹽浴軟氮化+氧化復合處理（簡稱QPQ技術）。

QPQ （Quench–Polish–Quench）是在鹽浴軟氮化的基礎上，對軟氮化后的零件進行拋光處理，然后再進行一次鹽浴氧化處理，其耐蝕性能得到大幅度提高，實現了既耐磨又耐蝕的目的。

上世紀90年代，歐洲成功地用離子法代替鹽浴法實現軟氮化+氧化復合處理，目前國外已將這項技術應用于汽車零件的表面處理。

在離子氮碳共滲的基礎上，再進行氧化的復合處理，使化合物層的表面形成一層1-2微米厚的Fe3O4膜。這樣復合滲層不僅能大幅提高零件的耐磨性，而且耐蝕性能也比只做離子氮碳共滲的零件提高20倍以上。