對于淬火變形來說冷卻方式有較大的影響。一般采用均勻冷卻的方法。

相變引起的尺寸變化能夠因鋼材的合理選擇而變小。但是，當鋼種若已選定時，則由此而產生的熱處理尺寸變化是不可避免的。在實際淬火操作中，主要是因鋼件各部位不同時發生相變而產生的變形、開裂及熱歪扭。

為了縮小各部位馬氏體化時間上的錯開，采用在出現屈氏體組織附近的溫度范圍實行急冷，而在Ms點以下實行緩冷的方法較好。淬火冷卻劑使用水時，則在Ms點以下冷卻速度較大，則變形很大。要在Ms點以下實行緩冷，最好采用油中淬火，空氣中冷卻。水中急冷后，估計達到Ms點附近溫度的時間，即從水中取出，移入油中，吹風冷卻，空冷等。若淬火移入油中的時間能夠很好地掌握的話將是有效的。

等溫淬火或者分級淬火對于減輕變形尤其有效。在等溫淬火中有利于進行矯正歪扭。

高頻淬火，由于加熱表皮，整體變形小是個優點。同時正確地支撐零件，使用穩定的高頻加熱裝置，以一定量的水，一定的方向，一定的時間進行噴射淬火，這樣產生的歪扭也是穩定的。但這時同樣要注意被硬化表面應均勻地進行冷卻。

將應硬化的部分浸在液體中（水中或油中），運用安裝了純鐵的電感以高電流密度進行高頻加熱，連續淬火。這種方法能使歪扭特別小。鋼件在液體中加熱，零件表面在液體沸騰的溫度下加熱則形成了一層蒸汽薄膜，由于這種膜妨礙傳熱，所以加熱時的熱損失并不太大。這種方法是在進行刻模齒輪的淬火硬化時采用成功的。同時也適用于大直徑管材的內表面淬火等場合。