維氏硬度也是壓痕法測定的硬度，是通過計算壓痕面積來評定硬度值。

(1)維氏硬度的試驗原理

維氏硬度的試驗原理如圖所示。試驗時，將相對夾角為136°的正四棱錐形金剛石壓頭，用選定的試驗力將其壓入試樣表面。經規定的施壓時間后，卸去試驗力，測量壓痕的對角線長度d1和d2值（見圖2-18b）。然后計算求出維氏硬度。

(2)維氏硬度的計算方法

根據測得壓痕對角線長度值、試驗力值，按照下式計算得出維氏硬度值：

式中  HV-維氏硬度(N·mm-2)：

F-試驗力(N)；

d-壓痕對角線長度平均值

維氏硬度的表示方法，例如，640HV。