化學熱處理工藝包括滲劑的化學組成和配比，滲劑分解反應過程的控制和參數測定，滲入溫度和時間，工件的準備，滲后的冷卻規程及熱處理，化學熱處理后工件的清理以及裝爐量等等。無論何種化學熱處理工藝，若按其滲劑在化學熱處理爐內的物理狀態分類，則可分為固體滲、氣體滲、液體滲、膏糊體滲、液體電解滲、等離子體滲和氣相沉積等工藝。 

  1.固體滲

  所用的滲劑是具有一定粒度的固態物質。它由供滲劑（如滲碳時的木炭）、催滲劑（如滲碳時的碳酸鹽）及填料（如滲鋁時的氧化鋁粉）按一定配比組成。這種方法較簡便，將工件埋入填滿滲劑的鐵箱內并密封，放入加熱爐內加熱保溫至規定的時間即可，但質量不易控制，生產效率低。 

  2.氣體滲

  所用滲劑的原始狀態可以是氣體，也可以是液體（如滲碳時用煤油滴入爐內），但在化學熱處理爐內均為氣態。對所用滲劑要求能易于分解為活性原子，經濟，易于控制，無污染，滲層具有較好性能。很多情況下可用其他氣體（如氫、氮或惰性氣體）將滲劑載入爐內；例如滲硼時可用氫氣將滲劑BCl3或B2H6載入爐內。等離子體滲法是氣體滲的新發展,即輝光離子氣滲法；最早應用于滲氮，后來被應用于滲碳、碳氮共滲、硫氮共滲等方面。氣相沉積法也是一種氣滲的新發展，主要應用于不易在金屬內擴散的元素（如鈦、釩等）。主要特點是氣態原子沉積在鋼件表面并與鋼中的碳形成硬度極高的碳化物覆蓋層，或與鐵形成硼化物等。 

  3.液體滲

  滲劑是熔融的鹽類或其他化合物。它由供滲劑和中性鹽組成。為了加速化學熱處理過程進行，附加電解裝置后成為電解液體滲。在硼砂鹽浴爐內滲金屬的處理法是近年發展起來的工藝，主要應用于鈦、鉻、釩等碳化物形成元素的滲入。

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