(1)晶體結構

它反映了原子在空間中的排列情況，如果排列的密度大，則原子遷移需要克服的阻力增大，此時擴散系數減小，原子的擴散會異常地困難。而金屬中出現空位或點缺陷，則原子擴散的阻力減小，原子的遷移速度加快，擴散速度增大。實踐證明面心立方晶格與體心立方晶格相比排列密度大，因此γ-Fe的擴散系數比α-Fe小。

(2)原子的尺寸

在固溶體中溶質與溶劑的原子尺寸差越大，則畸變能增大，使原子處于不穩定的狀態，原子的擴散阻力減小，從而加快了擴散的速度。

(3)擴散系數和溫度

原子的擴散規律為隨溫度的升高擴散系數增大，也就是說溫度升高，擴散速度加快。

(4)擴散系數與濃度

擴散系數一般隨組元濃度的變化而變化，不同元素的變化規律是不同的，對能降低熔點的組元而言，擴散系數隨低熔點組元的增加而增加。

(5)合金元素

合金元素的加入將直接影響到擴散系數，一般而言，加入與碳親和力強的元素，形成的穩定碳化物阻止擴散的進行；反之則增加擴散速度。

(6)晶粒的影響

一般而言晶粒越細則晶界面越多，晶界處的畸變能越大，使原子的晶界擴散速度加快。