金屬材料常見滲氮缺陷及其原因主要有以下幾方面：

(1)硬度偏低。生產實踐中，工件滲氮后其表面硬度有時達不到工藝規定的要求，輕者可以返工，重者則造成報廢。造成硬度偏低的原因通常有：

1)設備方面。如系統漏氣造成氧化。

2)材料方面。如材料選擇不合理。

3)前期熱處理。如基體硬度太低，表面脫碳嚴重等。

4)工件預處理不徹底。如進爐前的清潔方式不當及清潔度不夠。

5)工藝方面。如滲氮溫度過高或過低，時間短或氮濃度不足等。

(2)硬度和滲層不均勻。主要原因有：裝爐方式不合理，氣壓調節不當，滲氮處理期間溫度不均勻，爐內氣流不合理。

(3)滲氮后零件變形過大。雖然變形是難以避免的，但是對易變形件，采取以下措施有利于減小變形：

1)滲氮前應進行穩定化處理。

2)滲氮過程中的升、降溫速度應緩慢。

3)保溫階段盡量使工件各處的溫度均勻一致，對變形要求嚴格的工件，在工藝范圍內盡可能采用較低的滲氮溫度。

(4)外觀顏色有差別。不同材質的零件經滲氮處理后表面顏色是略有區別的，零件出爐后首先用肉眼檢查外觀質量，鋼件經滲氮處理后表面通常呈銀灰（藍黑）色或暗灰色，鈦及鈦合金件表面應呈金黃色。

(5)脈狀氮化物。滲氮（特別是離子滲氮）易出現脈狀氮化物，即擴散層與表面平行走向呈白色波紋狀的氮化物。一般認為與合金元素在晶界偏聚及氮原子的擴散有關，因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于減輕脈狀氮化物的形成。工藝參數方面，滲氮溫度越高，保溫時間越長，越易促進脈狀組織的形成。如工件的棱角處，因滲氮溫度相對較高，脈狀組織比其他部位嚴重得多。